Scatterometry for optimization of injection molded nanostructures at the fabrication line

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

  • Jonas Skovlund Madsen
  • Soren Alkaersig Jensen
  • Lars Nakotte
  • Arne Vogelsang
  • Lasse Hojlund Thamdrup
  • Ilja Czolkos
  • Alicia Johansson
  • Jorgen Garnaes
  • Theodor Nielsen
  • Nygård, Jesper
  • Poul Erik Hansen
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftInternational Journal of Advanced Manufacturing Technology
Vol/bind99
Udgave nummer9-12, SI
Sider (fra-til)2669-2676
Antal sider8
ISSN0268-3768
DOI
StatusUdgivet - 1 dec. 2018

ID: 210112796