High-Definition Nanoimprint Stamp Fabrication by Atomic Layer Etching

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

  • Sabbir A. Khan
  • Dmitry B. Suyatin
  • Jonas Sundqvist
  • Mariusz Graczyk
  • Marcel Junige
  • Christoffer Kauppinen
  • Anders Kvennefors
  • Maria Huffman
  • Ivan Maximov
OriginalsprogEngelsk
TidsskriftACS Applied Nano Materials
Vol/bind1
Udgave nummer6
Sider (fra-til)2476-2482
ISSN2574-0970
DOI
StatusUdgivet - 1 jun. 2018

ID: 216156091