Study on Microgratings Using Imaging, Spectroscopic, and Fourier Lens Scatterometry

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

  • Jonas Skovlund Madsen
  • Poul Erik Hansen
  • Pierre Boher
  • B. S. Dwarakanath
  • Jan Friis Jørgensen
  • Brian Bilenberg
  • Nygård, Jesper
  • Morten Hannibal Madsen
OriginalsprogEngelsk
Artikelnummer031005
TidsskriftJournal of Micro and Nano-Manufacturing
Vol/bind5
Udgave nummer3
ISSN2166-0468
DOI
StatusUdgivet - 7 jun. 2017

ID: 186122983