Polarimetric analysis of stress anisotropy in nanomechanical silicon nitride resonators

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

OriginalsprogEngelsk
Artikelnummer181106
TidsskriftApplied Physics Letters
Vol/bind110
Udgave nummer18
ISSN0003-6951
DOI
StatusUdgivet - 1 maj 2017

Links

ID: 182225071