Nanoscale patterning of electronic devices at the amorphous LaAlO3/SrTiO3 oxide interface using an electron sensitive polymer mask
Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt
| Originalsprog | Engelsk |
|---|---|
| Artikelnummer | 171606 |
| Tidsskrift | Applied Physics Letters |
| Vol/bind | 112 |
| Udgave nummer | 17 |
| Antal sider | 6 |
| ISSN | 0003-6951 |
| DOI | |
| Status | Udgivet - 23 apr. 2018 |
ID: 196375063