In-line characterization of nanostructured mass-produced polymer components using scatterometry

Publikation: Bidrag til tidsskrift › Tidsskriftartikel › Forskning › fagfællebedømt

  • Jonas Skovlund Madsen
  • Lasse Hojlund Thamdrup
  • Ilja Czolkos
  • Poul Erik Hansen
  • Alicia Johansson
  • Jorgen Garnaes
  • Nygård, Jesper
  • Morten Hannibal Madsen
OriginalsprogEngelsk
Artikelnummer085004
TidsskriftJournal of Micromechanics and Microengineering
Vol/bind27
Udgave nummer8
Antal sider8
ISSN0960-1317
DOI
StatusUdgivet - 20 jul. 2017

ID: 186155187